ELECTRICAL AND STRUCTURAL-PROPERTIES OF P-N-JUNCTIONS IN CW LASER ANNEALED SILICON

被引:7
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作者
MAIER, M
BIMBERG, D
FERNHOLZ, G
BAUMGART, H
PHILLIPP, F
机构
[1] MAX PLANCK INST FESTKORPERFORSCH,D-7000 STUTTGART,FED REP GER
[2] MAX PLANCK INST MET RES,INST PHYS,D-7000 STUTTGART 80,FED REP GER
关键词
D O I
10.1063/1.331432
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5904 / 5907
页数:4
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