GLOW-DISCHARGE POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM TRANSISTORS

被引:20
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作者
HIRAI, Y
OSADA, Y
KOMATSU, T
OMATA, S
AIHARA, K
NAKAGIRI, T
机构
关键词
D O I
10.1063/1.94078
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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