ELECTRON-MICROSCOPY STUDY OF EFFECTS OF ANNEALING ON DEFECT STRUCTURE OF HEAVILY SILICON-DOPED GALLIUM-ARSENIDE

被引:28
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作者
NARAYANAN, GH [1 ]
KACHARE, AH [1 ]
机构
[1] UNIV SO CALIF,DEPT MAT SCI,LOS ANGELES,CA 90007
来源
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210260230
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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