FILM FORMATION AND STRUCTURE CONTROL BY IONIZED CLUSTER BEAM

被引:0
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作者
USUI, H
TAKAOKA, HG
YAMADA, I
TAKAGI, T
机构
关键词
D O I
10.1246/nikkashi.1987.1908
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:1908 / 1915
页数:8
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