IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION TECHNIQUE

被引:0
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作者
YAMADA, I
TAKAGI, T
机构
来源
DENKI KAGAKU | 1984年 / 52卷 / 07期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页码:417 / 421
页数:5
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