ETCHING CHARACTERISTICS OF DEFECTS IN THE INGAASP-INP LPE LAYERS

被引：13
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作者：
KOTANI, T
KOMIYA, S
NAKAI, S
YAMAOKA, Y
机构：
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1980年 / 127卷 / 10期
关键词：
D O I：
10.1149/1.2129391
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：2273 / 2277
页数：5
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