CHANGE IN WATER-VAPOR ADSORPTION-KINETICS IN CHEMICALLY VAPOR-DEPOSITED SIO2-FILMS AFTER ION IRRADIATION

被引:0
|
作者
TSEYTLIN, GM
NOSKOV, AG
GERASIMENKO, NN
STENIN, SI
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(88)90266-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:343 / 350
页数:8
相关论文
共 50 条