CONTACTS OF REFRACTORY-METALS ON THERMALLY CLEANED SILICON SURFACES

被引:1
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作者
ALEKSANDROV, LN
LOVYAGIN, RN
SIMONOV, PA
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90406-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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