NONSWELLING NEGATIVE RESISTS INCORPORATING CHEMICAL AMPLIFICATION - THE ELECTROPHILIC AROMATIC-SUBSTITUTION APPROACH

被引：0
|
作者：
FRECHET, JMJ
MATUSZCZAK, S
STOVER, HDH
WILLSON, CG
RECK, B
机构：
来源：
POLYMERS IN MICROLITHOGRAPHY: MATERIALS AND PROCESSES | 1989年 / 412卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O69 [应用化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
收藏
页码：74 / 85
页数：12
相关论文
共 50 条
12345