DISSOCIATION KINETICS OF HYDROGEN-PASSIVATED (100)SI/SIO2 INTERFACE DEFECTS (VOL 77, PG 6205, 1995)

被引:9
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作者
STATHIS, JH
机构
关键词
D O I
10.1063/1.360786
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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