MECHANISM OF RADIATION-INDUCED CROSSLINKING AND CHAIN SCISSION IN RESIST POLYMERS

被引:0
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作者
TABATA, Y [1 ]
TAGAWA, S [1 ]
WASHIO, M [1 ]
HAYASHI, S [1 ]
机构
[1] UNIV TOKYO,FAC ENGN,BUNKYO KU,TOKYO 113,JAPAN
来源
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:95 / POLY
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