Beam interactions in a focused ion beam system with a liquid metal ion source

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作者：
机构：
[1] de Jager, P.W.H.
[2] Vijgen, L.J.
来源：
de Jager, P.W.H. | 1600年 / Publ by Elsevier Science Publ Co Inc, New York, NY, United States卷 / 23期
关键词：
Ion beams;
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