Contrast mechanisms of secondary electron images in scanning electron and ion microscopy

被引:0
|
作者
Sakai, Y. [1 ]
Yamada, T. [1 ]
Suzuki, T. [1 ]
Ichinokawa, T. [2 ]
机构
[1] JEOL, 3-1-2 Musashino, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan
[2] Department of Applied Physics, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-0072, Japan
来源
Applied Surface Science | 1999年 / 144卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:96 / 100
相关论文
共 50 条