THE INFLUENCE OF SURFACE-ROUGHNESS ON THE ELECTRICAL-RESISTIVITY OF EVAPORATED COPPER-FILMS

被引：0
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作者：
GEBHARDT, R
LANG, M
WISSMANN, P
机构：
[1] Univ Erlangen-Nuernberg, Erlangen, West Ger, Univ Erlangen-Nuernberg, Erlangen, West Ger
来源：
VAKUUM-TECHNIK | 1986年 / 35卷 / 07期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TH [机械、仪表工业];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
13
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页码：199 / 202
页数：4
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