CONVECTION MASS-TRANSFER ANALYSIS OF SILICON EPITAXIAL DEPOSITION .2. GAS FLOW PATTERNS AND EPITAXIAL DEPOSITION

被引：0
|
作者：
SUGAWARA, K
TOCHIKUH.H
TAKAHASH.R
KOGA, Y
机构：
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1970年 / 117卷 / 03期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
收藏
页码：C107 / &
相关论文
共 50 条
12345