APPLICATION OF GLOW-DISCHARGE MASS-SPECTROMETRY AND SPUTTERED NEUTRAL MASS-SPECTROMETRY TO MATERIALS CHARACTERIZATION

被引：30
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作者：
CHU, PK
HUNEKE, JC
BLATTNER, RJ
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 03期
关键词：
D O I：
10.1116/1.574148
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
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页码：295 / 301
页数：7
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