PREPARATION OF SUBSTRATES FOR FILM DEPOSITION USING GLOW-DISCHARGE TECHNIQUES

被引:42
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作者
VOSSEN, JL
机构
来源
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/12/3/002
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:9
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