DEGRADATION OF METAL-NITRIDE-OXIDE SEMICONDUCTOR STRUCTURES UNDER THE EFFECT OF ULTRAVIOLET-IRRADIATION

被引:0
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作者
PLOTNIKOV, AF
SELEZNEV, VN
TOKARCHUK, DN
机构
来源
SOVIET MICROELECTRONICS | 1979年 / 8卷 / 06期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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