SEM 3-DIMENSIONAL MEASUREMENT METHOD AND COMPUTER-PROCESSING METHOD

被引:0
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作者
OKADA, M
KOBORI, T
KAWANO, T
SHINOZAKI, S
机构
[1] JEOL LTD,POWER REACT NUCL FUEL DEV,TOKYO,JAPAN
[2] IBM JAPAN,TOKYO,JAPAN
来源
JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1979年 / 28卷 / 03期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TH742 [显微镜];
学科分类号
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页数:1
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