VAPOR-PHASE POLISHING OF SILICON WITH H2-HBR GAS MIXTURES

被引：16

作者：

GREGOR, LV

BALK, P

CAMPAGNA, FJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.94.0327

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：327 / &

共 15 条

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