MODELING OF THE SILICON INTEGRATED-CIRCUIT DESIGN AND MANUFACTURING PROCESS

被引：14
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作者：
DUTTON, RW
机构：
来源：
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1983年 / 30卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1109/T-ED.1983.21250
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：968 / 986
页数：19
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