DIRECT MEASUREMENT OF THE ENERGY-DISTRIBUTION OF HOT-ELECTRONS IN SILICON DIOXIDE

被引:103
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作者
BRORSON, SD [1 ]
DIMARIA, DJ [1 ]
FISCHETTI, MV [1 ]
PESAVENTO, FL [1 ]
SOLOMON, PM [1 ]
DONG, DW [1 ]
机构
[1] IBM CORP, THOMAS J WATSON RES CTR, YORKTOWN HTS, NY 10598 USA
关键词
D O I
10.1063/1.336098
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1302 / 1313
页数:12
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