INFLUENCE OF THE VELOCITY OF GAS-MIXTURE CURRENT AND CHLORINE CONCENTRATION ON TELLURIUM CAPTURE AT THE GAS EPITAXY OF GAAS

被引:0
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作者
LAVRENTYEVA, LG
TOROPOV, SE
POROKHOVNICHENKO, LP
机构
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关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
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