ETUDE DU REGIME DE LA CONDENSATION DUN PLASMA FROID (TI,A,O) DANS UN MECANISME DE PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE

被引：0

作者：

VANDENBERGHE, P

SAINTMAR.BL

SAMIRANT, M

PERNY, G

机构：

来源：

COMPTES RENDUS HEBDOMADAIRES DES SEANCES DE L ACADEMIE DES SCIENCES SERIE C | 1966年 / 262卷 / 25期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

Q5 [生物化学]; Q7 [分子生物学];

学科分类号：

071010 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：1750 / +

页数：1

共 50 条

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