GAS-PHASE DIAGNOSTICS AND MODELING OF TIN OXIDE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:0
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作者
BORMAN, CG
BIENSTOCK, S
ZAWADZKI, A
GORDON, RG
机构
[1] GE,ELECTR LAB,SYRACUSE,NY 13201
[2] HARVARD UNIV,SMITHSONIAN CTR ASTROPHYS,CAMBRIDGE,MA 02138
[3] HARVARD UNIV,DEPT CHEM,CAMBRIDGE,MA 02138
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页码:C328 / C328
页数:1
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