Analysis of Parameters of an RF Inductively Coupled Plasma Torch and Dispersed Flow of Vaporized Quartz Particles

被引:0
|
作者
L. Miao
Yu. M. Grishin
机构
[1] Bauman Moscow State Technical University,
来源
Technical Physics | 2020年 / 65卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1024 / 1031
页数:7
相关论文
共 50 条