Chemical deposition of diamond in the C-H-F, C-O-F, and C-H-O-F systems

被引:0
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作者
Rakov, EG [1 ]
Modin, AV [1 ]
机构
[1] DI Mendeleev Chem Technol Univ, Moscow, Russia
来源
ZHURNAL FIZICHESKOI KHIMII | 1998年 / 72卷 / 09期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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页码:1693 / 1697
页数:5
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