Ein neues hochgenaues und zuverlässiges Ionisationsvakuummeter

被引:0
|
作者
Jousten, Karl [1 ]
机构
[1] Phys Tech Bundesanstalt, Abbestr 2-12, D-10587 Berlin, Germany
关键词
Uncertainty analysis - Vacuum applications - Vacuum gages;
D O I
10.1002/vipr.202300806
中图分类号
TH [机械、仪表工业];
学科分类号
0802 ;
摘要
Ein neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Losung fur die bisher unzureichende Stabilitat kommerziell erhaltlicher Gerate und ermoglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Fuhrung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermoglicht. Das neue Hochvakuum-messgerat ist fur Anwendungen als Referenzmessgerat und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerat eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl fur Hersteller wie fur Anwender auch kommerziell interessant. A new highly accurate and reliable ionization vacuum meter - Permanent relative gas sensitivity sets new standard for manufacturers and usersA novel ionization vacuum meter offers a solution to the previously insufficient stability of commercially available devices and enables predictable sensitivities. This is made possible by straight-line guidance of the ionizing electrons as they travel through the ionization space. The new high vacuum gauge is suitable for applications as a reference gauge and in process plants where high reproducibility is required. Even without calibration, the instrument offers a measurement uncertainty of less than 5%, making it commercially interesting for both manufacturers and users.
引用
收藏
页码:20 / 25
页数:6
相关论文
共 50 条