Influence of B2H6/CH4 and B(CH3)3 as process gas on boron carbide coatings: An in situ photoelectron spectroscopy study

被引:0
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作者
Kunzli, H. [1 ]
Gantenbein, P. [1 ]
Steiner, R. [1 ]
Oelhafen, P. [1 ]
机构
[1] Inst fur Physik der Universitat, Basel, Basel, Switzerland
关键词
Boron carbide;
D O I
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