XTEM sample preparation technique for n-type compound semiconductors using photochemical etching

被引:0
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作者
Department of Electronics, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku Nagoya 464-01, Japan [1 ]
不详 [2 ]
机构
来源
MICROSC. RES. TECH. | / 4卷 / 363-364期
关键词
D O I
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