REDISTRIBUTION OF IMPLANTED PHOSPHORUS AFTER PLATINUM SILICIDE FORMATION AND THE CHARACTERISTICS OF SCHOTTKY BARRIER DIODES.

被引:0
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作者
Kikuchi, Akira [1 ]
Sugaki, Shojiro [1 ]
机构
[1] Central Research Laboratory, Hitachi, Limited, Kokubunji, Tokyo 185, Japan
来源
| 1600年 / 53期
关键词
D O I
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摘要
5
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