Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-Si:H/a-Si1-xCx:H multilayers

被引:0
|
作者
机构
来源
| 1600年 / 75期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
相关论文
共 50 条
  • [1] EFFECT OF PLASMA-ETCHING, CARBON CONCENTRATION, AND BUFFER LAYER ON THE PROPERTIES OF A-SI-H/A-SI1-XCX-H MULTILAYERS
    VELASQUEZ, ELZ
    FANTINI, MCA
    CARRENO, MNP
    PEREYRA, I
    TAKAHASHI, H
    LANDERS, R
    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1994, 75 (01) : 543 - 548
  • [2] On the determination of the interface density of states in a-Si:H/ a-Si1-xCx:H multilayers
    Bertomeu, J.
    Puidgollers, J.
    Asensi, J.M.
    Andreu, J.
    Journal of Non-Crystalline Solids, 1993, 164-66 (pt 2) : 861 - 864
  • [3] Infrared characterization of a-Si:H/a-Si1-xCx:H interfaces
    Bertomeu, J
    Puigdollers, J
    Asensi, JM
    Andreu, J
    APPLIED SURFACE SCIENCE, 1997, 108 (02) : 211 - 217
  • [4] Electrical properties of plasma enhanced chemical vapor deposition a-Si:H and a-Si1-xCx:H for microbolometer applications
    Shin, Hang-Beum
    Saint John, David
    Lee, Myung-Yoon
    Podraza, Nikolas J.
    Jackson, Thomas N.
    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013, 114 (18)
  • [6] a-Si:H/a-Si1-XCX:H超晶格的光学性质
    徐希翔
    张仿清
    韩玉
    赵有文
    李卫
    陈光华
    余光明
    马兰萍
    刘煜
    兰州大学学报, 1988, (01) : 39 - 44
  • [7] a-Si:H/a-Si1-xCx:Hpin型发光器件的研制
    张亚非
    张仿清
    陈光华
    兰州大学学报, 1986, (02) : 80 - 80
  • [8] a-Si:H/a-Si1-xCx:H多层膜的电学和光学性质
    彭启才
    周心明
    蔡伯埙
    材料科学进展, 1989, (01) : 65 - 70
  • [9] Alternative doped a-Si1-xCx:H and nc-Si1-xCx:H films
    Tews, R
    Suchaneck, G
    Kottwitz, A
    Abramov, AS
    Kosarev, AI
    JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 1998, 227 : 478 - 482
  • [10] On the structural properties of a-Si1-xCx:H thin films
    DEMA-UFSCar, Sao Carlos, Brazil
    J Appl Phys, 3 (1324-1329):