CRITICAL COMPARISON OF SILICIDE FILM DEPOSITION TECHNIQUES.

被引:0
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作者
Ahn, K.Y. [1 ]
Basavaiah, S. [1 ]
机构
[1] IBM, Thomas J. Watson Research Cent,, Yorktown Heights, NY, USA, IBM, Thomas J. Watson Research Cent, Yorktown Heights, NY, USA
来源
| 1600年 / 118期
关键词
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
TUNGSTEN COMPOUNDS
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