Improvement of hot-electron hardness in metal-oxide-semiconductor devices by combination of gate electrode deposited using amorphous Si and gate oxide grown in N2O

被引:0
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作者
Natl Tsing Hua Univ, Hsinchu, Taiwan [1 ]
机构
来源
Jpn J Appl Phys Part 2 Letter | / 8 A卷 / L968-L970期
关键词
D O I
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摘要
MOS devices
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