Vacuum: Preface

被引：0
|
作者：
Kikuchi, Naoto [1 ]
Gotoh, Yasuhito [2 ]
Fujiwara, Nobuo [3 ]
Nakagawara, Osamu [4 ]
Nakano, Takeo [5 ]
机构：
[1] National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Central 2, 1-1-1, Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan
[2] Kyoto University, Kyotodaigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8510, Japan
[3] Renesas Technology Corporation, 4-1 Mizuhara, Itami, Hyogo 664-0005, Japan
[4] Murata Manufacturing Co., Ltd., 2288 Ohshinohara, Yasu, Shiga 520-2393, Japan
[5] Seikei University, 3-3-1 Kichijoji Kita, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan
来源：
Vacuum | 2010年 / 84卷 / 12期
关键词：
D O I：
10.1016/j.vacuum.2010.04.001
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
相关论文
共 50 条
12345