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MULTI-CHANNEL ION-BEAM OVERLAP
被引:4
|
作者
:
WRIGHT, TP
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0
WRIGHT, TP
机构
:
来源
:
PHYSICS OF FLUIDS
|
1981年
/ 24卷
/ 02期
关键词
:
D O I
:
10.1063/1.863379
中图分类号
:
O3 [力学];
学科分类号
:
08 ;
0801 ;
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:
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共 50 条
[21]
ION-BEAM MICROFABRICATION
GAMO, K
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OSAKA UNIV,EXTREME MAT RES CTR,TOYONAKA,OSAKA 560,JAPAN
OSAKA UNIV,EXTREME MAT RES CTR,TOYONAKA,OSAKA 560,JAPAN
GAMO, K
VACUUM,
1993,
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[22]
ION-BEAM SUPERPINCH
WINTERBERG, F
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WINTERBERG, F
PHYSICAL REVIEW A,
1981,
24
(04):
: 2168
-
2173
[23]
ION-BEAM TEXTURING
HUDSON, WR
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NASA,LEWIS RES CTR,CLEVELAND,OH 44135
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HUDSON, WR
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY,
1977,
14
(01):
: 286
-
289
[24]
ION-BEAM EPIPLANTATION
THOMAS, GE
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THOMAS, GE
BECKERS, LJ
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BECKERS, LJ
VRAKKING, JJ
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VRAKKING, JJ
DEKONING, BR
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DEKONING, BR
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH,
1982,
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(03)
: 557
-
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[25]
ION-BEAM LITHOGRAPHY
BROWN, WL
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BROWN, WL
VENKATESAN, T
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VENKATESAN, T
WAGNER, A
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WAGNER, A
SOLID STATE TECHNOLOGY,
1981,
24
(08)
: 60
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[26]
ION-BEAM TECHNOLOGY
HOFKER, WK
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HOFKER, WK
PHILIPS TECHNICAL REVIEW,
1980,
39
(11):
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ION-BEAM CVD
TABATA, O
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GOVT IND RES INST,IKEDA,OSAKA 563,JAPAN
TABATA, O
KIMURA, S
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GOVT IND RES INST,IKEDA,OSAKA 563,JAPAN
KIMURA, S
KISHIMOTO, M
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GOVT IND RES INST,IKEDA,OSAKA 563,JAPAN
KISHIMOTO, M
TAKAHASHI, M
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TAKAHASHI, M
SUZUKI, S
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GOVT IND RES INST,IKEDA,OSAKA 563,JAPAN
SUZUKI, S
KUNORI, M
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1984,
131
(03)
: C92
-
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY,
1975,
12
(01):
: 28
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[29]
ION-BEAM LITHOGRAPHY
BROWN, WL
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BROWN, WL
VENKATESAN, T
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VENKATESAN, T
WAGNER, A
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WAGNER, A
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH,
1981,
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[30]
ION-BEAM ANALYSIS
FUJIMOTO, F
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OKAYANA UNIV SCI,OKAYAMA 700,JAPAN
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FUJIMOTO, F
BUNSEKI KAGAKU,
1991,
40
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