A THEORETICAL ASSESSMENT OF POSSIBILITY OF SELECTED-AREA MASS-SPECTROMETRIC ANALYSIS USING A FOCUSED ION BEAM

被引:24
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作者
LONG, JVP
机构
来源
BRITISH JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1965年 / 16卷 / 09期
关键词
D O I
10.1088/0508-3443/16/9/306
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1277 / &
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