PHYSICAL-PROPERTIES OF AMORPHOUS-SILICON, PREPARED BY HF SILANE DECOMPOSITION AT HIGH SUBSTRATE-TEMPERATURE

被引:1
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作者
KONKOV, OI
TERUKOV, EI
KYDOYAROVA, VK
BABAYEV, AA
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(87)90333-4
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:1391 / 1394
页数:4
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