METAL ADATOMS ON OXIDIZED SILICON SURFACES

被引：7
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作者：
MCGRATH, R
MCGILP, JF
MCGOVERN, IT
MORGAN, SJ
HERRENDENHARKER, WG
WILLIAMS, RH
机构：
来源：
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY | 1988年 / 3卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1088/0268-1242/3/9/018
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：937 / 942
页数：6
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