STUDY OF OXIDATION AND REDUCTION BY WATER VAPOR OF SI (111) SURFACES USING AUGER-ELECTRON EMISSION

被引:10
|
作者
MAGUIRE, HG [1 ]
AUGUSTUS, PD [1 ]
机构
[1] PLESSEY CO LTD,ALLEN CLARK RES CTR,TOWCESTER,ENGLAND
来源
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210170109
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:101 / 108
页数:8
相关论文
共 50 条