EFFECTS OF DEPOSITION TEMPERATURE OF INSULATOR FILMS ON THE ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF INP METAL-INSULATOR-SEMICONDUCTOR FIELD-EFFECT TRANSISTORS

被引:19
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作者
IWASE, Y
ARAI, F
SUGANO, T
机构
关键词
D O I
10.1063/1.99138
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1437 / 1438
页数:2
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