STRUCTURED ION ENERGY-DISTRIBUTION IN RADIO-FREQUENCY GLOW-DISCHARGE SYSTEMS

被引：132
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作者：
WILD, C
KOIDL, P
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1989年 / 54卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1063/1.100913
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：505 / 507
页数：3
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