ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM ZIRCONIUM AND HAFNIUM FILMS FROM 300 DEGREES K TO 1.3 DEGREES K

被引:14
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作者
FRIEBERTSHAUSER, PE
MCCAMONT, JW
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.1492655
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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