DEPOSITION OF ATOMIC BEAMS

被引:57
作者
WEXLER, S
机构
关键词
D O I
10.1103/RevModPhys.30.402
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:402 / 409
页数:8
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共 60 条
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