HOT ATOMIC HALOGEN BEAMS FROM SPUTTERING OF SILVER HALIDES

被引:3
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作者
SCHMIDTBLEEK, F
OSTROM, G
DATZ, S
机构
来源
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1969年 / 40卷 / 10期
关键词
D O I
10.1063/1.1683790
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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