HIGH-RATE PHYSICAL VAPOR-DEPOSITION OF HAFNIUM FOIL - FEASIBILITY STUDY

被引:0
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作者
BUNSHAH, RF
WEBSTER, RT
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.1315417
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:VM95 / &
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