REACTIONS ON SUBSTRATE FOR PREPARATION OF SILICON-NETWORKS FROM PRECURSORS, SIFNHM (N+M-LESS-THAN-3)

被引:10
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作者
SHIMIZU, I
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(87)90061-5
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页数:4
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