STUDIES OF REACTIONS BETWEEN GASEOUS ORGANO-SILICON COMPOUNDS AND METAL-SURFACES

被引:2
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作者
YATES, DJC [1 ]
BEHAL, SK [1 ]
KEAR, BH [1 ]
机构
[1] EXXON RES & ENGN CO,CORP RES SCI LABS,ANNANDALE,NJ 08801
关键词
D O I
10.1557/JMR.1988.0714
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:714 / 722
页数:9
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