RAPID ISOTHERMAL ANNEALING OF ION-IMPLANTED POLYSILICON FILMS

被引:0
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作者
GREGORY, RB
WILSON, SR
PAULSON, WM
KRAUSE, S
HAMDI, AH
GRESSETT, JD
MCDANIEL, FD
机构
[1] MOTOROLA INC,SEMICOND RES & DEV LABS,PHOENIX,AZ 85008
[2] ARIZONA STATE UNIV,DEPT ELECT ENGN,TEMPE,AZ 85281
[3] N TEXAS STATE UNIV,DEPT PHYS,DENTON,TX 76203
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页数:1
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