SIO2 THICKNESSES DETERMINATION BY REFLECTION ELLIPSOMETRY - SUBSTRATE EFFECTS

被引：6

作者：

ADAMS, JR ^{[1
]}

BASHARA, NM ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NEBRASKA,COLL ENGN,ELECT MAT LAB,LINCOLN,NB 68508

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(75)90210-1

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：655 / 660

页数：6

共 6 条

AZZAM, RMA ;

BASHARA, NM .

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